[nom] Système intégrant sur une puce des dispositifs mécaniques et électroniques, qui remplit une fonction déterminée.
Un microsystème électromécanique est un microsystème fabriqué à partir de matériaux semi-conducteurs. Il comprend un ou plusieurs éléments mécaniques et utilise l`électricité comme source d`énergie, en vue de réaliser une fonction de capteur ou d`actionneur, avec au moins une ...